產品說明 PAU-AZ系列中的Apiste技術(精密冷媒流量控制,獨創算法,無加熱器控制) 實現了出色的節能性能和±0.1℃/±0.5%RH的高精度溫濕度控制和穩定性。 產品應用 1.半導體業 a.前製程_黃光製程: 曝光機、塗佈機(6吋及8吋) b.後製程: 壓模機、探針台 2.電機、電子業: 焊膏印刷機、充放電裝置 3.金屬加工、輸送業: 精密加工機、發動機試驗台 4.製藥、食品、化學業: 打錠機、電子天秤、移液裝置