氣浮式塗布機

TAZMO CO., LTD.

氣浮式塗布機

詳細介紹

產品特徵
1.高性能定量吐出幫浦
2.高精度Nozzle
3.對應高速塗布
4.可對應Robot傳送
5.附上鎖功能安全門
6.可搭載Nozzle前端管理機構
7.搭載塗布液及洗淨液自動供給系統
8.氣浮式方式可減少基板背面接觸損壞
9.氣浮式方式免去基板玻璃時靜電產生
10.基板連續投入，可提升產能

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