YODOGAWA HU-TECH CO., LTD.
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設備
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YODOGAWA HU-TECH CO., LTD.
PANEL洗淨機(研磨帶式)
PANEL洗淨機(研磨帶式)
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詳細介紹
研磨機購迴轉研磨帶,透過機構噴嘴輸出的流體做為加壓源,對基板進行間接加壓。針對傳輸帶上搬送的基板表面進行兩面同時(可依需求設計為正、反面分開研磨) 且低傷的研磨製程。此外,機台本身採用Slit噴嘴等最新的洗淨技術,在兼顧異物去除率與洗淨性能的同時亦可縮短Tact Time。
可與偏光板貼付機進行串線整合,提供高良率的設備效能。