設備

Sumitomo臭氧產生器採用平板式放電Cell,將其導電後把氧氣轉換成臭氧。
所產生的臭氧濃度超過400g/m3(N)，是業界最高規格。

Sumitomo's ozone generator adopt the flat plate type discharging cell which convert oxygen to ozone by electric power.
The ozone concentration is over 400g/m3(N) which is at the top-class in the market.

對應高階光罩片的旋轉式清洗裝置 
• 清洗液高速擴散到清洗表面
• 快速排除異物和反應產物
• 無水痕乾燥

此太陽光模擬器是由氙氣燈及鹵素燈組成,使人造光源更接近太陽光且優於單一光源的太陽光模擬器。
可提供接近太陽光之光譜讓串聯型電池或其他高轉換效能電池能有更穩定可靠的評價成果。