YODOGAWA HU-TECH CO., LTD.
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枚葉式積層機
層壓陶瓷電子部品製程中不可或缺的預層壓製程用枚葉式層壓設備。
將帶有印刷電極的Sheet,進行高速度、高精度層疊的枚葉式機層裝置。
可對應先剝離(剝離積層)、後剝離(積層剝離)。
可額外追加各種檢查功能,提升稼動率。 -
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Panel FOUP (針對四邊型基板)
針對半導體 FO-PLP生產製程所開發, 可對應SEMI E181的規格品,依照SEMI規格,基板尺寸如下
・510x515
・600x600
可對應客製化。
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G5.5 Array Cassette(1300mmx1500mm)
框體為樹脂或SUS,兩列Back Support可減少基板Bending量。 -
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PP BOX
輕量且具柔軟性之發泡PP Box。優秀的衝擊吸收性及耐久性,相當適合基板出貨時使用,並可回收使用。
自動化基板取放之設計,亦可製作防靜電型式。某些尺寸的發泡箱,可對應0.4, 0.5t基板。 -
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G10.5 Array Cassette (2940mm x 3370mm)
採用SUS框體,CFRP材質的圓錐狀Back Support,可有效減少振動。輕量化產品。 -
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G6 Array Cassette (1500mmx1850mm)
採用SUS框體,CFRP材質的圓錐狀Back Support,可有效減少振動。輕量化產品。 -
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G4.5 Array Cassette(730mmx920mm)
由樹脂+金屬構成,0.3mm以下基板可採用Back Support類型。